第226章 粤州硅片厂(2/2)
这让罗曼诺夫有些不服气,周博或许是军工天才,但在硅冶炼这个领域,罗曼诺夫对自己有绝对自信。
听到周博主动问他,罗曼诺夫皱眉道:“我正要谈反应炉的问题,我和郭维达瓦里希在技术上有些分歧,你来看一看吧!”
周博点点头,郭维是中方技术负责人,他的技术路线是周博提供的。
所谓的技术分歧,周博心里已经大概有了数。
“那好,我们看看!”
说着,众人向着车间走去。
从硅矿石到高纯硅,不是一步完成的。
按照硅提纯的步骤,硅片厂建设了三大车间。
第一车间是电弧炉车间,负责硅矿石第一步冶炼,使二氧化硅与碳发生反应,生成粗硅(也称冶金级硅),纯度约为95%~99%。
第二车间是酸洗车间,通过酸化反应,去除粗硅中的铁、铝、碳等杂质,提高硅的纯度至99.9%以上。
这两步都是传统工艺,双方没什么分歧。
为了快速上马,周博甚至直接照搬毛熊方案,设备也都从毛熊进口。
而第三车间是提纯车间。
将低纯硅与氯化氢(hcl)反应生成三氯硅烷(Sihcl?),然后通过蒸馏和化学气相沉积(cVd)将三氯硅烷还原为高纯度多晶硅。
纯度达到99.9999%(6N)至99.%(9N)
这个方法被称为西门子法。
双方分歧就在这一步。
西门子法虽然被各国广泛采用,但传统西门子法在效率、能耗、生产成本都不太理想。
因此,周博采用了更先进的改良西门子法。
能耗显着降低,同时效率提升一倍以上。
传统西门子法中,硅的沉积率只有约10%-15%。
如果采用改良西门子法,沉积率提高到30%。
很快,众人来到提纯车间,聚集在一个4米长的圆柱形金属腔体前。
这是硅提纯的关键设备,反应炉。
提纯时,将多根细长的硅棒(硅芯)插入反应炉。
然后通过沉积(cVd)反应,在高温下将硅沉积到细长的硅棒上,形成高纯度多晶硅。
罗曼诺夫道:“周博达瓦里希,这是你们设计的反应炉,怎么能横式布置呢。
你知不知道,如果气体分配不均匀,硅纯度就无法保持一致。”
罗曼诺夫的声音有些着急,看得出来,他还是很敬业的,对工作一丝不苟,并没有因为是夏国项目就有所懈怠。
周博笑了笑,传统西门子法都是立式炉,横式炉是后世设计,效率更高。
“罗曼诺夫同志,横式炉是新式方案。
气体流场经过优化,硅纯度绝对可以保证!”
“你确定?”
“当然!”周博自信十足。
“不仅如此,横式炉效率还更高。
我问你,你们的反应器能沉积几根硅棒?”
“八根!”
罗曼诺夫回答道,声音带着几分自信。
他知道,这个数字在全球算是领先的。
周博笑了笑,淡淡道。
“我们的横式反应炉可同时沉积36根硅棒···”
36根!
一众毛熊专家都瞪大了眼睛。